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納米精度電動平移臺。電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機(jī)和控制器。驅(qū)動電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

U-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺。 該平移臺采用無聲的超聲波馬達(dá)，超聲波馬達(dá)是通過一個耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運(yùn)動，每個循環(huán)的進(jìn)給為幾個納米，高頻的信號，可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺的Z大速度可達(dá)到400m

單軸壓電掃描臺/納米平移臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，以柔性鉸鏈為運(yùn)動副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點。

超緊湊線性平移臺（亞微米）是集動力系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一身的微機(jī)械系統(tǒng)。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個世界上Z小的壓電馬達(dá)和IC驅(qū)動、非接觸式磁感應(yīng)陣列位置傳感器和PID控制器。