| 品牌 | 昊量光電 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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單軸壓電掃描臺/納米平移臺
AU-NPS-X系列納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，以柔性鉸鏈為運(yùn)動副，使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋設(shè)計(jì)，精度可達(dá)到亞納米量級。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器，納米定位工作臺的響應(yīng)時(shí)間和穩(wěn)定時(shí)間可達(dá)到毫秒量級。
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單軸壓電掃描臺/納米平移臺
AU-NPS-X系列納米定位工作臺zui初的設(shè)計(jì)是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，以柔性鉸鏈為運(yùn)動副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
全行程采用電容位移傳感器閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，電容位移傳感器是將位移變化轉(zhuǎn)換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡單易用，而且擁有*的精度，可達(dá)到亞納米量級。結(jié)合數(shù)字閉環(huán)控制器，納米定位工作臺的響應(yīng)時(shí)間和穩(wěn)定時(shí)間可達(dá)到毫秒量級。低的移動質(zhì)量和高的剛度結(jié)合可以提供非常高的帶寬。
對于大行程的納米定位臺，采用目前業(yè)內(nèi)zui*的雙傳感技術(shù)與以往相比可以提供更快的響應(yīng)速度，提高有效載荷出現(xiàn)變化時(shí)的穩(wěn)定性和更高的帶寬。這項(xiàng)突破性的技術(shù)能夠應(yīng)用于各種袖珍模擬和數(shù)字控制器，其操作簡便，為用戶提供*性能。
公司的一維納米定位工作臺主要包含以下幾款產(chǎn)品：
①超緊湊型閉環(huán)亞納米微動臺
AU-NPS-X-5A是一款已推出市面上體積zui小的閉環(huán)一微亞納米級別的微動臺。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm（長′寬′高）。應(yīng)用電容位移傳感器，位移分辨率達(dá)到亞納米級別?？蛰d下的自振頻率更是高達(dá)8000HZ。采用鋁合金材質(zhì)，其擁有較輕的質(zhì)量和高的剛度，使其有高的帶寬，在zui大負(fù)載的情況下響應(yīng)時(shí)間可達(dá)到亞毫秒級別。
②超快一維亞納米定位平臺
AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米微動臺，用于高速的、超精密的應(yīng)用。該設(shè)備在空載下的自振頻率高達(dá)9500HZ。在7g負(fù)載的情況下仍可達(dá)到8700HZ。并且該產(chǎn)品具有良好的位置重復(fù)性。擁有良好的響應(yīng)速度，響應(yīng)時(shí)間達(dá)到毫秒量級。并且該款產(chǎn)品可按照不同需求進(jìn)行工業(yè)定制。
③超大行程的一維納米微動臺
AU-NPS-X-500A采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，以柔性鉸鏈為運(yùn)動副，使其具有較緊湊的體積，使用電容傳感器，在整個(gè)行程中分辨率精度可高達(dá)亞納米級別。使用雙傳感設(shè)計(jì)，可提供更快的階躍響應(yīng)，提高有效載荷出現(xiàn)變化時(shí)的穩(wěn)定性，并擁有更大的帶寬，使其擁有更快的響應(yīng)時(shí)間。
④高負(fù)載大推力一維亞納米微動臺
AU-NPS-X-30B是一款高負(fù)載的微動臺，zui高負(fù)載可高達(dá)10kg。其擁有極寬的帶寬高達(dá)1KHZ?？蛰d下的自振頻率更是高達(dá)5000HZ。
除了以上幾款產(chǎn)品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維微動臺也擁有優(yōu)異的性能。外加負(fù)載可高達(dá)5kg。擁有較高的帶寬，在50g負(fù)載的情況下，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒量級。AU-NPS-X-15D和AU-NPS-X-15A屬于相同型號，但是具有更高的高度（15.5mm），因此擁有更高的剛度，因此具有較寬的帶寬、較低的穩(wěn)定時(shí)間和較高的自振頻率。
u 主要特點(diǎn)
亞納米的分辨率
高的帶寬
高速響應(yīng)
高的可靠性
結(jié)構(gòu)緊湊
壓電陶瓷驅(qū)動
柔性鉸鏈設(shè)計(jì)
電容位移傳感器閉環(huán)反饋
u 主要應(yīng)用
磁頭和磁盤驅(qū)動測試、計(jì)量學(xué)、干涉度量學(xué)、原子力顯微鏡等
u 產(chǎn)品主要參數(shù)
型號 參數(shù) | AU-NPS-X-5A | AU-NPS-X-15A | AU-NPS-X-15D | AU-NPS-X-500A | AU-NPS-X-30B | AU-OEM-X-10A | |||
Material | Aluminium | Stainless steel 316 | Stainless steel 316 | Titanium & Aluminium Alloy | Titanium | Titanium | |||
Size | 23 long x 16.5 wide x 7.6 high | 60 long x 40 wide x 13.5 high | 60 long x 40 wide x 15.5 high | 60 x 60 x 20 | 60 long x 40 wide x 15.5 high | 62 long x 40 wide x 22 high | |||
Range (mm) | Minimum | ± 7.5 | ± 7.5 | 500 | ± 15 | ± 5 | |||
Typical | 6.5 | ± 8 | ± 8 | ± 6 | |||||
Maximum | |||||||||
Resonant frequency: 0g load | Minimum | 3000 HZ | 3500 HZ | 260 HZ | 4500 HZ | ||||
Typical | 8000 HZ | 5000 HZ | 9500 HZ | ||||||
Maximum | |||||||||
Resolution | sub-nanometer | 1 nm | sub-nanometer | ||||||
Maximum load | 5 g | 5 kg | 5 kg | 1 kg | 10 kg | 0.2 kg | |||
Position noise(1σ ) /nmrms | Fast | 0.2 | 0.2 | 0.12 | 0.05 | ||||
Medium | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.09 | 0.07 | ||||
Slow | 0.05 | 0.05 | 0.04 | 0.1 | |||||
Linearity error (peak)/% | Minimum | ||||||||
Typical | 0.1 | 0.01 | 0.01 | 0.02 | 0.01 | 0.01 | |||
Maximum | 0.2 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | ||||
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