納米精度電動平移臺。

納米精度，大行程電動平移臺！

所屬類別：光機產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) ? 電動平移臺

技術(shù)服務(wù)人員：李工(William)

納米精度電動平移臺。

電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進電機驅(qū)動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進電機的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅(qū)動電機及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電動平移臺傳動螺桿采用滾珠絲杠實現(xiàn)高速平穩(wěn)運動，*的螺桿品質(zhì)使平移臺擁有的分辨率、定位精度。采用超高等級交叉滾珠導(dǎo)軌，具有超高的運動性能。該系統(tǒng)采用光柵尺閉環(huán)控制，在確保大行程的同時，分辨率達到了1nm。按照定位精度區(qū)分，我司平移臺可分為 1nm高精度位移臺、5納米精度和10納米精度位移臺、亞微米精度位移臺。

1）1nm高精度電控位移臺。

該系類位移臺可分為諧波齒輪5相步進電機驅(qū)動和普通的5相步進電機兩種類型的平移臺。采用光柵尺位置反饋閉環(huán)控制使其分辨率可達到1納米，重復(fù)定位精度可達到±2nm，可提供20mm、40mm和50mm三種不同的行程，并可以組裝成多維電控運動系統(tǒng)。

2）5nm精度電控位移臺

該系類產(chǎn)品是一款擁有5納米定位精度的閉環(huán)控制平移臺，可提供 20mm、40mm、和50mm三個不同的行程，由于采用光柵尺位置編碼閉環(huán)反饋控制，使其擁有優(yōu)秀的分辨率、定位精度及重復(fù)定位精鍍。

3）10nm精度電控位移臺

該系類電控位移臺是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統(tǒng)。其采用光學(xué)線性位置編碼器，在提供大行程的同時，使設(shè)備擁有較高的精度。該系類評議臺可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的電控位移臺。

4）亞微米分辨率電控位移臺

該系類位移平臺是指分辨率可達到亞微米精度的精密運動系統(tǒng)。該系統(tǒng)也是光學(xué)編碼閉環(huán)控制，精度可達到50-100nm，可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的電控位移臺，并可以根據(jù)需求組成二維電控平移臺。

此外該系列平移臺提供在真空條件下的同規(guī)格的電控平移臺，可承受的真空度可達到10^-4Pa，相當(dāng)于10^-6 torr的真空度。

• 主要特點

• 高分辨率

• 高重復(fù)定位精度

• 采用滾珠絲杠，實現(xiàn)高精度定位

• 采用高等級交叉滾珠導(dǎo)軌，具有超高運動性能

• 可提供真空同規(guī)格的真空版本平移臺

• 主要應(yīng)用

超精密激光加工、超精密三維掃描測量、全自動計量儀器檢測設(shè)備、工業(yè)自動化等領(lǐng)域。

• 主要參數(shù)：

亞微米精度電控位移臺參數(shù)：