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納米級高速大行程壓電馬達(dá)平移臺

AU-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺擁有*的特點(diǎn)。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺。

該平移臺采用無聲的超聲波馬達(dá)，超聲波馬達(dá)是通過一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，促動(dòng)器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運(yùn)動(dòng)，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號，可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺的zui大速度可達(dá)到400mm/s。

理論上壓電馬達(dá)平移臺的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長度，因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達(dá)94mm，采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制，使位移平臺的位移分辨率可達(dá)到78nm，在滿足大行程的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預(yù)加力，因此斷電之后平移臺會有自鎖功能，使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量，提高了位移平臺的精度。

此外，由于該平臺采用模塊化設(shè)計(jì)，因此該平移臺可以組成多維位移平臺，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

主要特點(diǎn)：

l  大行程 （92mm）

l  高精度（78nm）

l  高速度（400mm/s）

l  支持?jǐn)嚯娮枣i

l  可在真空和非磁環(huán)境

主要應(yīng)用：

l  光電子學(xué)

l  掃描電子顯微鏡

l  半導(dǎo)體生產(chǎn)

l  醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)

l  生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)

l  顯微鏡和計(jì)量學(xué)

產(chǎn)品參數(shù)：

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納米級高速大行程壓電馬達(dá)平移臺

AU-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺擁有*的特點(diǎn)。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺。

該平移臺采用無聲的超聲波馬達(dá)，超聲波馬達(dá)是通過一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，促動(dòng)器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運(yùn)動(dòng)，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號，可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺的zui大速度可達(dá)到400mm/s。

理論上壓電馬達(dá)平移臺的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長度，因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達(dá)94mm，采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制，使位移平臺的位移分辨率可達(dá)到78nm，在滿足大行程的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預(yù)加力，因此斷電之后平移臺會有自鎖功能，使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量，提高了位移平臺的精度。

此外，由于該平臺采用模塊化設(shè)計(jì)，因此該平移臺可以組成多維位移平臺，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

主要特點(diǎn)：

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l  高精度（78nm）

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