<納米精度電動(dòng)升降臺(tái).-上海昊量光電設(shè)備有限公司

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納米精度電動(dòng)升降臺(tái).

簡(jiǎn)要描述:納米精度電動(dòng)升降臺(tái).,電控位移臺(tái)也稱為電控平移臺(tái)是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行裝置,通過絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺(tái)位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成:位移臺(tái)、電機(jī)和控制器。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號(hào)處理等性能參數(shù)。位移臺(tái)則是系統(tǒng)的心臟,主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
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  • 更新時(shí)間:2025-07-23
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應(yīng)用領(lǐng)域綜合

納米精度電動(dòng)升降臺(tái).

  • 納米精度電動(dòng)升降臺(tái).

納米精度,大行程電控升降臺(tái)!

所屬類別:光機(jī)產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) ? 電動(dòng)平移臺(tái)

技術(shù)服務(wù)人員:李工(William)

納米精度電動(dòng)升降臺(tái).


電控位移臺(tái)也稱為電控平移臺(tái)是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行裝置,通過絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺(tái)位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成:位移臺(tái)、電機(jī)和控制器。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號(hào)處理等性能參數(shù)。位移臺(tái)則是系統(tǒng)的心臟,主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電動(dòng)升降臺(tái)傳動(dòng)螺桿采用滾珠絲杠實(shí)現(xiàn)高速平穩(wěn)運(yùn)動(dòng),*的螺桿品質(zhì)使平移臺(tái)擁有的分辨率、定位精度。采用超高等級(jí)交叉滾珠導(dǎo)軌+LM滑軌,在確保了升降臺(tái),具有超高的運(yùn)動(dòng)性能。該系統(tǒng)采用光柵尺閉環(huán)控制,在確保大行程的同時(shí),分辨率達(dá)到了10nm。按照定位精度區(qū)分,我司電動(dòng)升降臺(tái)可分為 10納米精度位移臺(tái)和亞微米精度位移臺(tái)兩種類型。

110nm精度電控升降臺(tái)

該系類電控位移臺(tái)是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統(tǒng)。可以提供沿垂直方向的精密移動(dòng)與定位。其采用光學(xué)線性位置編碼器,在提供大行程的同時(shí),使設(shè)備擁有較高的精度。該產(chǎn)品采用滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)和LM滑軌+交叉滾珠導(dǎo)軌導(dǎo)向,確保了升降臺(tái)的精度及線性度。目前該產(chǎn)品提供5mm10mm兩種不同行程的電控位移臺(tái)。

2)亞微米分辨率電控升降臺(tái)

該系類位移平臺(tái)是指分辨率可達(dá)到亞微米精度的精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。該系統(tǒng)也是光學(xué)編碼閉環(huán)控制,精度可達(dá)到50-100nm,可提供5mm10mm不同行程的電控位移臺(tái)。

此外這兩種版本的升降臺(tái)可提供真空條件下使用的版本,可適用的的真空條件為10-4Pa,真空度約為10-6 Torr


  • 主要特點(diǎn)

  • 高分辨率

  • 高重復(fù)定位精度

  • 采用滾珠絲杠,實(shí)現(xiàn)高精度定位

  • 采用高等級(jí)交叉滾珠導(dǎo)軌,具有超高運(yùn)動(dòng)性能


u  主要應(yīng)用


超精密激光加工、超精密三維掃描測(cè)量、全自動(dòng)計(jì)量?jī)x器檢測(cè)設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。


  • 主要參數(shù):

亞微米電控平移臺(tái)參數(shù):

型號(hào)

行程(mm

最大負(fù)載(N)

分辨率(nm)

重復(fù)定位精度(nm)

最大移動(dòng)速度(mm/s)

FC-411

FC-111

FC-411

FC-111

AU-FS-1005Z

5

49

50

100

±100

±200

5

AU-FS-1010Z

10

49

50

100

±100

±200

5


納米電控平移臺(tái)參數(shù):

型號(hào)

行程(mm

最大負(fù)載(N)

分辨率(nm)

重復(fù)定位精度(nm)

最大移動(dòng)速度(mm/s)

AU-FS-1005PZ

5

49

10

±20

5

AU-FS-1010PZ

10

49

10

±20

5


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