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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡
AU-M3-RS微型振鏡將微型壓電馬達(dá)、精密導(dǎo)向系統(tǒng)、位移傳感器、微處理器集成到緊湊的空間中，該模塊擁有超小的體積（直徑<12mm），在緊湊的空間中包含一個(gè)世界上zui小的壓電馬達(dá)和IC驅(qū)動(dòng)，但卻可以提供更高的功率和可靠性，精度比電磁電機(jī)高十倍。內(nèi)置微處理器及PID控制器，無需外加控制器，只需要通過標(biāo)準(zhǔn)的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)。內(nèi)置位移傳感器，使微型振鏡的角分辨率達(dá)到0.025°。采用*的自鎖設(shè)計(jì)，只有在移動(dòng)時(shí)才使用動(dòng)力，使其擁有極低的功耗。
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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡
不需要外部控制器。該模塊將PID控制器集成到電路板上，只需要通過標(biāo)準(zhǔn)的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅(qū)動(dòng)該控制器?？梢酝ㄟ^USB適配器連接電腦，直接通過軟件控制聚焦模塊的運(yùn)動(dòng)。操作簡單使用方便。
AU-M3-RS擁有以下幾種開發(fā)套件：
①光束控制和鏡面定位系統(tǒng)，該系統(tǒng)是一個(gè)完整的光束控制系統(tǒng)。在緊湊的體積（直徑12mm）中包含壓電馬達(dá)、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器。在微型振鏡上安裝了一個(gè)鍍鋁膜的鏡子，每秒可旋轉(zhuǎn)1100°，精度可達(dá)到0.025°。點(diǎn)對點(diǎn)光束控制和動(dòng)態(tài)掃描頻率可達(dá)100Hz。鏡子的偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)到±20°采用*的自鎖設(shè)計(jì)，只有在移動(dòng)時(shí)才使用動(dòng)力，使其擁有極低的功耗。輸入電壓只需要3.3V。
單軸鏡面定位開發(fā)套件（AU-DK-M3-RS-U-1M-20）
雙軸光束控制系統(tǒng)（AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L）
②旋轉(zhuǎn)定位平臺(tái)（AU-M3-RS-U-360）是集壓電馬達(dá)、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器于一體的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。但是其擁有超小的體積，只有12（D）′12.5（H）。該系統(tǒng)可以提供連續(xù)的360°運(yùn)動(dòng)，并且擁有位置反饋系統(tǒng)，使其分辨率可達(dá)到0.025°。該微型振鏡只需要輸入3.3V的直流電壓，運(yùn)動(dòng)時(shí)耗能僅為500mW，因此可以用電池或者USB作為電源，這非常利于手提和便攜式設(shè)備。
u 主要特點(diǎn)
成本低
超小尺寸
低功耗
無外加控制器
高分辨率（0.0057°）
u 主要應(yīng)用
皮膚科激光、熒光顯微鏡和成像儀器、體內(nèi)和體外的微激光手術(shù)、3D打印、激光雷達(dá)、三維測量、遙感、防抖動(dòng)設(shè)備、激光打標(biāo)、激光雕刻、自由空間光通信、目標(biāo)指示、目標(biāo)探測、目標(biāo)跟蹤等。
u 主要參數(shù)
型號(hào) 參數(shù) | AU-M3-RS-U-360 | AU-DK-M3-RS-U-1M-20 | AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L |
Rotation Range | 360 deg continuous rotation | +/- 20 deg | +/- 20 deg |
Speed | > 1100 deg/sec | > 1100 deg/sec | > 1100 deg/sec |
Acceleration | > 1,000,000 deg/sec2 | > 1,000,000 deg/sec2 | > 1,000,000 deg/sec2 |
Stall Torque (min) | 0.04 N-mm | 0.04 N-mm | 0.04 N-mm |
Holding Torque (min) | 0.08 N-mm (zero power) | 0.08 N-mm (zero power) | 0.08 N-mm (zero power) |
Recommended Maximum Payload mounted to rotating shaft (Payload must be balanced) | |||
Mass | 3 g | 3 g | 3 g |
Inertia | 350 g-mm2 | 350 g-mm2 | 350 g-mm2 |
CLOSED-LOOP performance (with built-in position sensor) | |||
Recommended Step Frequency | Up to 100 Hz | Up to 100 Hz | Up to 100 Hz |
Resolution (encoder resolution) | 0.025 deg (440 µrad) absolute | 0.025 deg (440 µrad) absolute | 0.025 deg (440 µrad) absolute |
Repeatability | +/-0.05 deg (880 µrad) | +/-0.05 deg (880 µrad) | +/-0.05 deg (880 µrad) |
Accuracy | 0.25 deg (4400 µrad) | 0.25 deg (4400 µrad) | 0.25 deg (4400 µrad) |
Maximum Closed-Loop Step & Settle Times | 0.96 g-mm 2 inertial load* | 0.99 g-mm 2 inertial load* | 0.99 g-mm 2 inertial load* |
0.5 deg | 9ms | 9ms | 9ms |
5 deg | 14ms | 14ms | 14ms |
20 deg | 21ms | 21ms | 21ms |
OPEN-LOOP performance (external position sensor provided by user) | |||
Resolution | < 0.0057 deg (< 100 µrad) | <0.0057 deg (<100 µrad) | <0.0057 deg (<100 µrad) |
Accuracy | Typically better than 10% of distance travelled after calibration | ||
上海市徐匯區(qū)虹梅路2007號(hào)6號(hào)樓3樓
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