于1970年誕生,它利用強電子束激勵液態(tài)氙,獲得氙準分子的激射作用,激光波長為1720埃。隨后,氣相氙分子以及其它稀有氣體準分子,稀有氣體氧化物準分子等等陸續(xù)誕生。準分子激光物質(zhì)具有低能態(tài)的排斥性,可以把它有效地抽空,故無低態(tài)吸收與能量虧損,粒子數(shù)反轉(zhuǎn)很容易,增益大,轉(zhuǎn)換效率高,重復率高,輻射波長短,主要在紫外和真空紫外區(qū)域振蕩,調(diào)諧范圍較寬。

　　的特點：

　　(1)準分子以激發(fā)態(tài)形式存在,壽命很短,僅有10的-8次方s量級,基態(tài)為10的-13次方s量級,躍遷發(fā)生在低激發(fā)態(tài)和排斥的基態(tài)(或弱束縛)之間,其熒光譜為一連續(xù)帶。

　　(2)由于其熒光譜為一連續(xù)帶,故可以實現(xiàn)波長可調(diào)諧運轉(zhuǎn)。

　　(3)由于激光躍遷的下能級(基態(tài))的離子迅速離解,激光下能級基本為空的,極易實現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),因此量子效率很高,接近100%,且可以高重復頻率運轉(zhuǎn)。

　　(4)輸出激光波長主要在紫外線到可見光段,波長短、頻率高、能量大、焦斑小、加工分辨率高,更適合用于高質(zhì)量的激光加工。

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